Автор: Г. Хасса, Р.Э. Тун

Перевод с английского: М.И. Елинсон, В.Б. Сандомирский

Том: 2

Издательство: Мир

Год: 1967

Страниц: 395

Формат: DJVU

Качество: хорошее

 

Книга состоит из шести обзорных статей, написанных американскими и английскими специалистами по следующим вопросам: дефекты структуры в тонких металлических пленках, пленочный полевой триод с изолированным затвором, измерение оптических констант тонких пленок, просветляющие покрытия для видимой и инфракрасной областей спектра, поглощение солнечного излучения и излучательная способность напыленных покрытий, пленочные сх.емы. Статьи содержат полезный справочный материал: таблицы, номограммы, систематизированные сводки формул, обширную библиографию.

Особый интерес для специалистов в области микроэлектроники представляет обзор по пленочным полевым триодам, написанный известным американским специалистом Веймером.

Книга предназначается прежде всего для лиц, занимающихся структурой металлических пленок, микроэлектроникой и ее применениями в космических исследованиях и вычислительной технике, а также оптикой тонких пленок. Она может быть весьма полезна для студентов и аспирантов, специализирующихся в указанных областях.

 

Предлагаемая вниманию читателя книга представляет собой второй том серии «Физика тонких пленок» под редакцией Г. Хас-са и Р. Туна, выпускаемой известным издательством «Академик пресс».

Как и первый том, уже выпущенный издательством «Мир», данный том содержит весьма важные обзорные статьи, в которых наряду с общими вопросами физики тонких пленок, такими, как образование, структура, оптические свойства тонких металлических пленок и др., рассматривается ряд важных прикладных вопросов: методы измерения оптических параметров тонких пленок; свойства и технология покрытий космических объектов, используемых для регулирования их термического баланса; применение тонких пленок в микроэлектронике в связи с созданием активных и пассивных элементов пленочных интегральных схем.

Статья известного исследователя К. А. Нейгебауэра «Явления структурного разупорядочения в тонких металлических пленках» посвящена вопросам зарождения пленок, образованию дефектов структуры в процессе их роста, электрическим, магнитным и упругим свойствам пленок и ряду других проблем. Одним из наиболее интересных разделов является описание свойств островковых пленок, изучению которых автор посвятил много времени. Эта статья написана в сжатой форме, но дает достаточно полное представление о рассматриваемых вопросах.

В обзоре П. К. Веймера «Пленочный полевой триод с изолированным затвором» приводится анализ физического механизма работы пленочных активных элементов подобного типа, описываются особенности технологии их изготовления и рассматриваются перспективы практического использования этих приборов в микропленочных устройствах. Автор обзора является, по существу, изобретателем пленочного полевого триода (ППТ) и принадлежит к числу ведущих специалистов в данной области. По нашему мнению, ценность этой работы заключается не только в том, что в ней делается, по-видимому, одна из первых попыток сопоставить наблюдаемые особенности поведения ППТ с технологией их получения, конкретными свойствами используемых материалов и пр., но и в воспроизведении достаточно полной картины современного состояния исследований в весьма актуальной области микроэлектроники, связанной с созданием и исследованием пленочных активных элементов. Это тем более важно, что ППТ является, по крайней мере в настоящий момент, единственным пленочным активным устройством, для которого намечается реальная перспектива практического использования вне рамок лабораторных исследований. За период, прошедший с момента написания данного обзора, появилась обширная литература, посвященная многим аспектам исследований и применений ППТ. Тем не менее обзор Веймера должен представлять для читателя известный интерес, прежде всего в связи с полнотой и последовательностью изложения основных физических процессов, определяющих работу ППТ.

Статья О. С. Хевенса посвящена методам измерения оптических констант тонких пленок. Общеизвестные методы измерений описаны очень кратко, основное внимание уделено новым чувствительным методам.

Дж. Т. Кокс и Дж. Хасс в статье «Просветляющие покрытия для видимой и инфракрасной областей спектра», посвященной применению тонких пленок при просветлении оптики, дают достаточно полный обзор результатов теоретических исследований одно- и многослойных просветляющих покрытий. Кроме того, они приводят довольно много примеров практически изготовляемых покрытий для различных материалов, рассматривают преимущества и недостатки отдельных типов просветляющих покрытий и дают краткое описание технологии изготовления просветляющих покрытий методом напыления в высоком вакууме. В статье много полезных таблиц, а также теоретических и экспериментальных спектральных характеристик различных просветляющих покрытий.

Большой интерес представляет обзор Л. Ф. Друмметера и Г. .Хасса «Поглощение солнечного излучения и тепловое излучение напыленных пленок», посвященный вопросам терморегу-лирующих пленочных покрытий спутников.-В нем содержится весьма четкое введение в проблему и дается краткое изложение основных теоретических вопросов. Детальное критическое описание приборов, используемых для измерения поглощательной и излучательной способностей различных объектов, представляет большой интерес для всех лиц, занимающихся разработкой данной проблемы. В обзоре приведены чрезвычайно полезные сведения об испытаниях и свойствах напыленных металлических пленок с поверхностными покрытиями.

В статье Н. Шварца и Р. У. Берри «Тонкопленочные элементы и схемы» содержится весьма полная сводка используемых в настоящее время веществ и их композиций, а также технологических процессов для изготовления пассивных компонентов микроэлектронных пленочных интегральных схем — сопротивлений и конденсаторов. Ценность статьи — в обобщении накопленного опыта и в большом количестве полезных для практиков рекомендаций. В частности, авторы приводят важные данные о допусках на величины сопротивлений и емкостей. Большое внимание уделено вопросу о выборе и обработке подложек для пленочных схем.

В связи с ограниченным объемом настоящего выпуска в него не вошла статья К. Дж. Колбика «Взаимодействие электронных пучков с тонкими пленками», в которой рассматриваются потери энергии электронов средних энергий в веществе и основы теории электронной микроскопии и электронографии.

Ввиду большого внимания, которое уделяется вопросам исследования и применения тонких пленок, данная книга, несомненно, представит большой интерес для широкого круга советских читателей.

 

Для специалистов, работающих в области изучения свойств и применения тонких пленок и решающих весьма различные проблемы, существует много общих вопросов. Сюда относятся прежде всего методы нанесения пленок, процессы кристаллизации и роста, структура пленок и установление корреляции различных физических свойств пленок с их техническими параметрами. Наличие общих интересов, очевидно, становится понятным все большему кругу лиц, что находит выражение в проведении различных симпозиумов по тонким пленкам, а также в создании при Американском вакуумном обществе Секции тонких пленок. Поэтому нам представляется, что публикация серии сборников, посвященных последним достижениям в исследовании и применении тонких пленок, остается столь же актуальной, как и два года назад, когда было принято решение об издании этой серии. Ободренные доброжелательными отзывами о первом томе «Физики тонких пленок» редакторы намерены в дальнейшем придерживаться программы, намеченной в предисловии к тому I. К сведению новых читателей перечислим ниже те цели, которыми мы руководствуемся при издании данной серии.

В настоящее время огромное число статей, посвященных тонким пленкам, рассеяно по многим журналам, так что трудно получить единое представление о новейших работах в данной области. Несмотря на появление учебников, всегда будет ощущаться необходимость в обзорах, отражающих наиболее важные результаты новейших исследований. Эту задачу и должнз выполнить настоящая серия. В публикуемых здесь обзорах будут рассматриваться фундаментальные и прикладные исследования, посвященные методам получения пленок, изучению их свойств и применениям, а также обсуждаться работы, в которых исследования на тонких пленках привели к лучшему пониманию определенных физических и химических явлений. Будут обсуждаться свойства не только напыленных покрытий, но и пленок, полученных другими методами — катодным распылением, химическим осаждением, нанесением из паровой фазы и анодным окислением, поскольку эти методы в ряде случаев имеют определенные преимущества. Большая часть статей предназначена для специалистов, непосредственно занятых исследованиями тонких пленок, но эти статьи представляют также интерес для студентов старших курсов и исследователей, работающих в близких областях и имеющих лишь начальные понятия о данной проблеме.

Том 2 содержит три статьи по фундаментальным вопросам и четыре статьи, посвященные применениям пленок. В этих последних работах рассматривается использование тонких пленок в прикладной оптике и технологии изготовления микросхем.

В 3 и 4 томах внимание будет сконцентрировано на тех применениях пленок, процессах их нанесения и методах измерительной техники, которые были недостаточно полно освещены в первых двух томагх.

Редакторы рады еще раз напомнить, что критика, предложения и общие замечания читателей будут весьма приветствоваться и помогут улучшить качество следующих томов.